氣敏電阻式傳感器一般由敏感元件、加熱器和外殼組成,此組成方式和光電開關傳感器有的不同,具體情況如下。
1、按結構分
氣敏電阻式傳感器按結構可分為燒結型、薄膜型和厚膜型,燒結型以氧化物半導體材料為基體,將電極和加熱器埋入金屬氧化物中,另熱加壓成型,再用低溫制陶工藝燒結制成,又稱為半導體陶瓷,制作方法簡單,壽命長,但是誤差較大;薄膜型是用蒸發和濺射方法在絕緣基片上形成氧化物薄膜,具有靈敏度高和反應速度快的特點;厚膜型是將氣敏材料和硅凝膠制成厚膜膠,然后將厚膜膠用絲網印刷到裝有鉑電極的基片上,燒制后制成,具有適合批量生產的特點。
2、按加熱方式分
氣敏電阻式傳感器按加熱方式可分為直熱型和旁熱型。
直接熱型氣敏電阻式傳感器這種傳感器結構簡單、成本低,但易受環境氣流影響,穩定性差。
旁熱型氣敏電阻式傳感器是管芯結構的測量電路加熱器分離,避免相互干擾,這種傳感器可靠性和使用壽命比直熱型高。 |